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LSI故障解析研究会 主査:二川 清

研究会の紹介活動内容

LSIの故障解析技術の最先端の成果を発表・議論する場です.
研究員に登録可能な条件は,現役で最先端故障解析技術の研究開発を行っていることです.
第2種研究会のため登録研究員以外は参加できません.
参加者を限定しているため,研究開発途上のほっとな内容の議論も可能になります.
現在約10名が登録されており,毎回3件程度持ち回りで発表を行い,それをベースに議論を進めています.
必要に応じてゲストスピーカーを招聘しています.

最近のトピックスは以下の通りです。
・走査型非線形誘電率顕微鏡法によるMONOS型メモリのVth分布観察
・波面コントロール(その2)
・最近の故障解析事例
・ループ発光解析
・Wet&TEMによる拡散層顕在化
・光を用いた解析の限界:どこまで微細化に対応可能か?

⇒お勧めセミナーはこちら

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